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半导体与电子热工领域
面向半导体材料制备、晶圆热处理、高纯陶瓷结构件和关键热工部件等应用,北方高科与北伏科技可提供高纯碳化硅粉体、重结晶碳化硅陶瓷、无压烧结碳化硅陶瓷及高纯陶瓷部件支持。碳化硅材料具备耐高温、热稳定性好、杂质含量可控和化学稳定性优良等特点,适合用于对洁净度、可靠性和高温稳定性要求较高的半导体工艺环境。
典型应用方向:
半导体晶舟、扩散炉管、真空吸盘、高纯陶瓷结构件、半导体热工部件、高温承烧构件、陶瓷膜材料、耐腐蚀结构件、精密陶瓷零部件。
对应产品:
4N级高纯碳化硅粉、重结晶碳化硅专用粉、重结晶碳化硅陶瓷、高纯碳化硅结构件、承烧板、热电偶保护管、精密加工陶瓷部件。资料中明确提到4N级高纯碳化硅粉主要面向半导体晶舟、扩散炉管、真空吸盘和高纯陶瓷结构件等产品制造。
 

全流程粉体能力

End-to-End Powder Capability

多种成型适配

Multiple Forming Support

多种烧结工艺支撑
SUPPORTED BY MULTIPLE SINTERING PROCESSES

稳定质量控制
Stable Quality Control
应用协同服务Application Support Service
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